半导体装置及制造半导体装置的方法
实质审查的生效
摘要
本公开涉及一种半导体装置及制造半导体装置的方法。一种半导体装置包括:包括交替堆叠的第一导电层和绝缘层的叠层;设置在所述叠层上的第二导电层;设置在所述叠层上并且被配置为使各个所述第二导电层彼此绝缘的分离绝缘结构;穿过所述叠层的第一沟道层;围绕第一沟道层的侧壁的存储器层;设置在所述叠层上并穿过所述第二导电层的第二沟道层,每个所述第二沟道层的宽度小于所述第一沟道层的宽度;围绕第二沟道层的侧壁的栅极绝缘层;以及被配置为分别将各个所述第一沟道层与各个所述第二沟道层联接并且延伸到所述第二沟道层中的第三沟道层。
基本信息
专利标题 :
半导体装置及制造半导体装置的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114334995A
申请号 :
CN202110441082.3
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-04-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
崔康植
申请人 :
爱思开海力士有限公司
申请人地址 :
韩国京畿道
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
刘久亮
优先权 :
CN202110441082.3
主分类号 :
H01L27/1157
IPC分类号 :
H01L27/1157 H01L27/11582 H01L27/11524 H01L27/11556
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/1157
申请日 : 20210423
申请日 : 20210423
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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