一种物理气相传输法生长氮化铝单晶的方法
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摘要

本发明公开了一种物理气相传输法生长氮化铝单晶的方法,所述方法包括:S1,将氮化铝原料固定于坩埚内壁四周;S2,将籽晶固定于坩埚内晶体生长腔中间位置;S3,将坩埚放入高温炉中,通入高纯氮气,升温至预设温度,并调节至所述籽晶周围形成小温梯进行氮化铝单晶生长,保温一段时间。在温度梯度的作用下,四周的气相物质朝向籽晶传输,并在籽晶周围形成Al气压的低过饱和度,形成籽晶高质量层流生长模式下的高速生长。本发明采用的制备氮化铝单晶的物理气相传输法,改变了目前传统物理气相传输法中原料、籽晶的排布方式、以及热场分布,在籽晶周围形成良好的层流长晶环境,最后获得高质量结晶的AlN单晶。

基本信息
专利标题 :
一种物理气相传输法生长氮化铝单晶的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113622018A
申请号 :
CN202110906303.X
公开(公告)日 :
2021-11-09
申请日 :
2021-08-09
授权号 :
CN113622018B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
吴亮赵寅廷王琦琨雷丹李哲黄嘉丽张刚
申请人 :
奥趋光电技术(杭州)有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区顺风路503号3号楼五层518室
代理机构 :
杭州宇信联合知识产权代理有限公司
代理人 :
梁群兰
优先权 :
CN202110906303.X
主分类号 :
C30B23/00
IPC分类号 :
C30B23/00  C30B29/40  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-11-26 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 23/00
申请日 : 20210809
2021-11-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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