用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备。一种晶体提拉机设备包括提拉组件,其用以以提拉速度从硅熔体提拉晶体;坩埚,其装纳硅熔体;在硅熔体的表面上方的热屏蔽件;升降器,其用以改变热屏蔽件和硅熔体的表面之间的间隙;以及一个或多个计算装置,其用以响应于提拉速度的变化在晶体的给定长度下使用Pv‑Pi容限来确定对间隙的调节。由计算装置进行的计算机实施的方法包括确定提拉速度命令信号以控制晶体的直径;确定升降器命令信号以控制热屏蔽件和从其生长晶体的硅熔体的表面之间的间隙;以及响应于不同的提拉速度使用Pv‑Pi容限来确定对间隙的调节。
基本信息
专利标题 :
用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318511A
申请号 :
CN202111152966.3
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-09-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高梨启一下崎一平
申请人 :
胜高股份有限公司
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
姜凝
优先权 :
CN202111152966.3
主分类号 :
C30B15/22
IPC分类号 :
C30B15/22 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
C30B15/22
被拉晶体附近熔融区的稳定化或形状控制;晶体截面的控制
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/22
申请日 : 20210929
申请日 : 20210929
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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