处理装置和方法、测量装置和方法、光刻装置、制造物品的方法...
公开
摘要
公开了处理装置和方法、测量装置和方法、光刻装置、制造物品的方法、模型、生成方法和装置。本发明提供了一种处理装置，包括：生成器，被配置为基于测量目标的图像数据来生成第一方向上的测量目标的位置信息；以及确定器，被配置为基于与不同于第一方向的第二方向相关的图像数据的特征量来确定由生成器生成的测量目标的位置信息的置信度。
基本信息
专利标题 ：
处理装置和方法、测量装置和方法、光刻装置、制造物品的方法、模型、生成方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114384772A
申请号 ：
CN202111214067.1
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
神保悟须崎义夫三岛和彦高仓伸
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
宋岩
优先权 ：
CN202111214067.1
主分类号 ：
G03F9/00
IPC分类号 ：
G03F9/00 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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