一种InSb晶片制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种InSb晶片制备方法,包括:将晶锭按照固定基准固定后,垂直于晶锭的轴线进行切割,以切出第一InSb晶片;确定第一InSb晶片的晶向,调整切割角度,在切开的所述晶锭,继续切割出第一目标晶向的端面;保持切割机刀片角度,基于所述固定基准旋转晶锭目标角度,执行切割,以获得第二目标晶向的端面;对第二目标晶向的端面进行标记,基于标记后的端面切割出所需的籽晶;基于切割的籽晶进行晶体生长和切割,以获得目标InSb晶片。本公开的方法解决了晶体生长之后因Te元素在晶片中心区域聚集而引起的电学参数分布不均匀的技术难题,从而提高大尺寸InSb晶片有效区域范围内的电学参数的均匀性以及晶片的有效使用面积。

基本信息
专利标题 :
一种InSb晶片制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114347277A
申请号 :
CN202111445494.0
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
柏伟董涛彭志强折伟林王成刚
申请人 :
中国电子科技集团公司第十一研究所
申请人地址 :
北京市朝阳区酒仙桥路4号
代理机构 :
工业和信息化部电子专利中心
代理人 :
焉明涛
优先权 :
CN202111445494.0
主分类号 :
B28D5/00
IPC分类号 :
B28D5/00  B28D5/04  C30B29/40  C30B31/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/00
申请日 : 20211130
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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