一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法，反射板组包括内圈反射板组、外圈反射板组及设置于内圈反射板和外圈反射板之间的分隔板，所述分隔板用于将内圈灯组和外圈灯组发射的热辐射隔开，所述分隔板的沿长度方向延伸的厚度的中间线相对于竖直方向具有倾斜角度，所述倾斜角度大于零度，所述倾斜角度用于确保所述衬底上的温度分布的均匀性。本发明通过调节倾斜角度可以实现内外区的独立控温。
基本信息
专利标题 ：
一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114420585A
申请号 ：
CN202111546164.0
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
秦志坚燕春杨进
申请人 ：
江苏天芯微半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区行创四路7号
代理机构 ：
上海元好知识产权代理有限公司
代理人 ：
张双红
优先权 ：
CN202111546164.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H05B3/00 G02B7/182
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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