分批型衬底处理设备
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种将在排放空间中分解的处理气体供应到处理空间中的分批型衬底处理设备，所述排放空间不同于处理空间。分批型衬底处理设备包含：反应管，配置成提供处理空间；等离子体形成部件，具有排放空间，所述排放空间通过分隔壁与处理空间区分开，且通过沿反应管的纵向方向延伸的多个电极在排放空间中产生等离子体。多个电极包含彼此间隔开的多个电源电极及设置于多个电源电极之间的多个接地电极。
基本信息
专利标题 ：
分批型衬底处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496698A
申请号 ：
CN202111241951.4
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵政熙金苍乭
申请人 ：
株式会社尤金科技
申请人地址 ：
韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面秋溪路42
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
马爽
优先权 ：
CN202111241951.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20211025
申请日 : 20211025
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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