一种屏蔽栅晶体管及其形成方法，结构包括：衬底，包括原胞区和终端区；位于原胞区内的若干第一凹槽；位于第一凹槽内的屏蔽栅极结构，衬底表面暴露出部分所述屏蔽栅极结构顶部表面；位于第一凹槽内的第一栅极结构；位于第一栅极结构两侧的原胞区内的源掺杂区；位于终端区内的第二凹槽和第三凹槽，所述第二凹槽和第三凹槽环绕所述原胞区，所述第二凹槽位于原胞区和第三凹槽之间；位于第二凹槽内的第二栅极结构，位于第三凹槽内的第三栅极结构；位于衬底上的源极金属层，所述源极金属层与源掺杂区、屏蔽栅极结构和第二栅极结构电连接，所述源极金属层与第三栅极结构电隔离。所述屏蔽栅晶体管的耐压能力和可靠性得到提高。