真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备
公开
摘要
本发明提供了一种真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备，真空门阀，活动闭合或打开与腔室连通的第一通孔，并包括阀门杆，与阀门杆随动的主动球，围合主动球的套筒，活动连接套筒的门板，门板容置与主动球抵持的被动球，以及驱动机构；通过驱动机构驱动阀门杆和套筒作正向的水平运动，以通过限位件抵持套筒，驱动阀门杆继续作正向的水平运动实现阀门杆和套筒的相对运动，使主动球顶推被动球，使门板沿竖直方向向下位移，以闭合第一通孔，通过驱动机构驱动阀门杆作反向的水平运动实现相对运动以使门板上移，以打开第一通孔。本发明所揭示的真空门阀具有密封效果良好及使用寿命较长的优点。
基本信息
专利标题 ：
真空门阀及具真空环境的带电粒子束设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300326A
申请号 ：
CN202111578310.8
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
沈晓天张旭
申请人 ：
上海精测半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
代理机构 ：
苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
储振
优先权 ：
CN202111578310.8
主分类号 ：
H01J37/18
IPC分类号 ：
H01J37/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/18
真空锁
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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