一种晶圆隐切装置，包括工作台，工作台上设置两个平行的支撑导轨以及被第一驱动机构带动滑动设置在两个所述支撑导轨上的横梁，所述横梁上设置被第二驱动机构带动的可以沿着所述横梁长度方向滑动纵向移动台。本发明中横梁两端伸出所述滑动支撑结构，两端受力的情况下，横梁中间部分就会向上翘曲，从而减小中间向下挠曲变形的幅度，使得所述横梁中部挠曲变形减小到很小的程度。从而提高设置在横梁中间零部件的运动过程的精度，进一步提高晶圆切割的精度。晶圆隐切装置中可以移动的横梁采用上述结构，横梁上的晶圆载台可以在运动过程中保持较高的水平度，从而提高了晶圆切割过程的精度。配合气浮运动机构，进一步减小了变形量，增加了精度。