本发明提供了一种单片式晶圆清洗装置，包括工作台面、喷淋机构、清洗机构和回收机构；所述工作台面包括基座、固定盘、承载盘和电机，所述基座的下方固定安装有所述电机，上方连接有转轴，所述承载盘设置在所述固定盘上方，所述转轴上方设置所述固定盘；所述喷淋机构包括喷淋管和喷气管，所述喷淋管的喷嘴位于晶圆的上方，所述喷气管的喷射口与晶圆具有一夹角；所述清洗机构包括支撑部、支撑杆、支撑架和清洗刷；所述回收机构包括阻挡壁、引流槽和收集箱。本发明提供的单片式晶圆清洗装置，能对晶圆的边缘进行清洁，有效提高边缘颗粒的去除效果，清洗之后，还能对晶圆进行干燥处理，并对多余的清洗液进行回收利用，减少对环境的污染。