本发明提供一种单片式晶圆清洗装置，包括防护罩及驱动单元，防护罩至少包括第一防护罩及第二防护罩，且第一防护罩位于第二防护罩的外围；驱动单元包括连接件、旋转件及驱动件，其中，连接件与防护罩对应设置，且连接件的第一端与防护罩相连接，旋转件设置有倾斜槽，倾斜槽与防护罩对应设置，连接件的第二端位于倾斜槽内，驱动件与旋转件相连接，通过驱动件带动旋转件往复旋转，且防护罩沿倾斜槽进行升降，以提供不同的药液流道。本发明的单片式晶圆清洗装置仅通过一套驱动单元，即可同时对多个防护罩的位置进行调节，从而可减少驱动单元数量、节约设备空间、降低日常维护及调控复杂度，且可降低成本。