本实用新型公开了一种半导体离子注入机，具体涉及半导体离子注入机技术领域，包括注入机，注入机的内腔中设置有连接装置，且通过连接装置活动安装有侧板，连接装置包括安装块和连接杆，安装块的一端固定安装在注入机的拐角处，且靠近注入机内腔开口的一端中部开设有用于盛放连接杆的凸型槽，连接杆的一端固定安装在侧板靠近注入机的一侧，连接杆的外部两侧对称开设有限位槽。通过限位杆在凸型槽的内腔中放置时，然后拉动滑杆使得铰接杆往远离凸型槽内腔的方向进行滑动，从而限位杆转动至限位槽的内腔中进行放置，拉动侧板便可以将侧板和注入机之间进行分离，从而注入机和侧板之间进行拆卸的时候更加方便。