一种整体式晶圆调距传片机
授权
摘要
本实用新型涉及一种整体式晶圆调距传片机，包括机体、推料组件、连接组件、夹紧组件、调整组件以及搬运组件；所述机体包括上框架、放料台以及下框架，所述推料组件具体位于下框架内，所述推料组件与放料台位置相对应，所述上框架通过搬运组件与机体活动连接，所述调整组件通过推动件与上框架活动连接，所述连接组件通过调整组件与上框架连接，所述夹紧组件位于调整组件上，所述夹紧组件上设置有夹条，所述调整组件上设置有调距板。本实用新型提供一种整体式晶圆调距传片机，减少了搬运次数，提高了工作效率，节约了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种整体式晶圆调距传片机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121929943.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-18
授权号 ：
CN216161710U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
张明声
申请人 ：
昆山冠昂智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇城北富宏路80号1幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202121929943.4
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
