一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘,包括图案板、柔光纸、LED灯板、边框和LED电源,所述边框内侧面环绕其一周开设有卡槽,边框通过卡槽从上到下依次卡接图案板、柔光纸和LED灯板,边框的一侧中部开设有插槽,图案板呈黑白棋盘格状;LED灯板上呈矩形阵列分布有多个LED灯珠,多个LED灯珠通过电源线电性连接,LED灯板的端部具有正负极接头,正负极接头从边框的插槽中伸出,正负极接头通过电源线与电源电性连接。本实用新型以LED灯板为主动光源,能模拟实际硅熔液的发光方式,无需外部光源照射,有效解决外部光源照射在图案板上的照明方式能带来反射,从而引起的图案显示反光强烈、明暗不均等问题。

基本信息
专利标题 :
一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122434034.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-09
授权号 :
CN216473578U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
王建军王龙
申请人 :
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122434034.X
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B35/00  H04N17/00  F21V33/00  F21V23/02  F21Y115/10  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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