一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备
授权
摘要
本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，包含有料仓（2）、料斗（7）和搅拌罐（9），所述料仓（2）的底部出料口连接至螺旋输送装置（5）的进料口，所述螺旋输送装置（5）的出料口连接至料斗（7）的顶部进料口，所述料斗（7）的底部出料口与搅拌罐（9）的顶部进料口之间相连通的波纹管上安装有波纹管称重传感器（17）。本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，有效的提高了清洗液的配置生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122580896.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-26
授权号 ：
CN216726752U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
史志贺张勇陆鸣
申请人 ：
江苏雷博微电子设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市金山路201号创智园数码港A座一楼东南
代理机构 ：
江阴市权益专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈强
优先权 ：
CN202122580896.3
主分类号 ：
B01F27/80
IPC分类号 ：
B01F27/80 B01F35/71 B01F35/21 B08B3/08 B08B3/02
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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