一种便于晶圆取放的检测装置
授权
摘要
本申请涉及半导体技术领域，公开了一种便于晶圆取放的检测装置，包括基座、支架以及底座，底座固定于基座的上端面中部，底座的上端面可旋转安装有转动盘，转动盘上开设有供晶圆恰好放置的圆形深槽，圆形深槽端口内水平设置有置物板，且转动盘上的圆形深槽底部水平安装有丝杠，丝杠上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块，移动块的上端面与置物板的下端面之间铰接连接有倾斜的支撑杆。该便于晶圆取放的检测装置，结构合理，能够对晶圆限位，避免其水平移动，有利于提高检测精度，且易于对晶圆进行取放，操作简单，使用方便，有利于提高检测效率。
基本信息
专利标题 ：
一种便于晶圆取放的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123075902.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
CN216525416U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
季建松
申请人 ：
江阴佳泰电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市临港新城璜土镇迎宾东路33号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123075902.6
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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