本实用新型提出一种离子注入机的多向晶圆位置判断装置，包括支承装配组件、转接定位组件、附属装配组件、内侧感应组件及外侧感应组件，该晶圆位置判断装置设置了一组指向晶圆定位机构的第一方向的内侧探头，在第一方向对晶圆的位置进行感应，并设置一组指向晶圆定位机构的第二方向的外侧探头，在第二方向对晶圆的位置进行感应，可结合内侧探头与外侧探头同时对多个晶圆进行位置判断，当发生晶圆与定位机构配合错误时，离子注入过程无法开始，还将内侧探头与外侧探头的连接线缆置于径向通孔、轴向通道及周向通道中，延缓老化速度，在保证判断信息准确的同时延长使用寿命，有利于减少故障，提升产品质量。