铝镓氮势垒层厚度测量结构
授权
摘要
本实用新型揭示了一种铝镓氮势垒层厚度测量结构，包括：衬底；位于衬底上的异质结，异质结包括氮化镓沟道层和铝镓氮势垒层，氮化镓沟道层与铝镓氮势垒层的界面处形成有二维电子气；位于异质结上的第一金属层，第一金属层与二维电子气电气连接；位于第一金属层及异质结上的第一钝化层；位于部分第一钝化层上的第二钝化层；位于第一钝化层上的第二金属层，第二金属层包括第一金属极板及第二金属极板；位于第二钝化层上的第三金属层，第三金属层包括第三金属极板及第四金属极板。本实用新型的测量结构可形成四个平行板电容器，基于电压‑电容特性测试及平行板电容器电容公式可以最终获得两个铝镓氮势垒层的厚度值。
基本信息
专利标题 ：
铝镓氮势垒层厚度测量结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123409026.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216717255U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
宁殿华蒋胜柳永胜程新
申请人 ：
苏州英嘉通半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区高铁新城青龙港路66号领寓商务广场701-706室
代理机构 ：
苏州三英知识产权代理有限公司
代理人 ：
周仁青
优先权 ：
CN202123409026.6
主分类号 ：
G01B7/06
IPC分类号 ：
G01B7/06 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B7/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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