应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置
授权
摘要
本实用新型公开了应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置，包括：直筒，所述直筒的内部设置有固定块且固定块的内部设置有推拉杆，所述推拉杆与固定块之间滑动连接，所述推拉杆的插入端设置有活塞且活塞与直筒之间相互嵌合，所述直筒的内部设置有固定架且固定架呈环状结构设置。本实用新型在直筒的内部设置有固定架且固定架的侧面设置有弹簧柱，推拉杆的对于位置设置有限位板且限位板与弹簧柱之间相互接触，在直筒的右侧设置有进料口，在使用时按动推拉杆，同时对准球体，在球体进入进料口后，松开推拉杆，使推拉杆通过弹簧柱复位，从而使直筒内形成压差，完成对球体的吸附固定，减少半导体作业难度，提高作业效率，节省产业人力成本。
基本信息
专利标题 ：
应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123428869.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216707363U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
陈亮王明山李得平
申请人 ：
盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
代理机构 ：
上海老虎专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
葛瑛
优先权 ：
CN202123428869.0
主分类号 ：
B25B27/02
IPC分类号 ：
B25B27/02 C23C16/458
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B27/00
不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备
B25B27/02
用于连接或卸下靠压配合的物件
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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