一种基于半导体芯片制作用晶圆激光切割方法
公开
摘要

本发明公开了一种基于半导体芯片制作用晶圆激光切割方法,其中,步骤二所述的激光切割设备中包括加工箱,本发明涉及半导体芯片制作技术领域。该基于半导体芯片制作用晶圆激光切割方法,通过设置有切割半径调节机构,利用手摇单元实现第一转轴和螺纹杆的转动,以此带动了移动块下方的激光发生器移动,并且利用手摇单元实现第二转轴和第三转轴之间的啮合传动,同步带动第一转轴的啮合转动,从而对晶圆所需切割的半径进行调节,并实现对数值调节的精准化操作,以此提高切割后工件的尺寸精度,同时利用定位组件中的定位块与测量块上的卡槽进行卡接,实现调节后移动块的固定,避免离心力造成其发生偏移的问题。

基本信息
专利标题 :
一种基于半导体芯片制作用晶圆激光切割方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114289900A
申请号 :
CN202210003002.0
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2022-01-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
林小越
申请人 :
林小越
申请人地址 :
广东省汕尾市海丰县
代理机构 :
安徽智鼎华诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张莉
优先权 :
CN202210003002.0
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38  B23K26/402  B23K26/70  B23K37/04  B23K26/08  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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