一种金刚石单晶生长炉设备及其工作方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种金刚石单晶生长炉设备,包括炉体,在炉体的一侧开设有进气口,然后在炉体的一侧设置有气体混装罐,然后在气体混装罐的下方设置增压组件,其次在炉体的内部转动设置有生长组件,位于生长组件的上方设置有冷却组件,炉体的内部设置有若干加热管,然后在炉体的侧面呈环形阵列设置若干门卡,在炉门的外部呈环形阵列设置若干连接卡,然后将该炉体的炉门旋转卡接于门卡内,然后通过若干密封螺栓进行固定,其中炉门的一侧设置有密封圈,在炉门进行卡接安装时,可以有效地保证该生长炉的密封性,同时保证生长炉在满足高压高温情况下的稳定性。
基本信息
专利标题 :
一种金刚石单晶生长炉设备及其工作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318530A
申请号 :
CN202210010240.4
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-06
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
侯荣华王红雪彭俊杰刘敏强宁树兴
申请人 :
北京清碳科技有限公司
申请人地址 :
北京市顺义区林河经济开发区林河大街22号院26号楼5层501室(科技创新功能区)
代理机构 :
广东省中源正拓专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
党冲
优先权 :
CN202210010240.4
主分类号 :
C30B29/04
IPC分类号 :
C30B29/04 C30B25/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/04
金刚石
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/04
申请日 : 20220106
申请日 : 20220106
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载