一种氧化镓悬空晶体管阵列的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供的一种多用途氧化镓悬空晶体管阵列的制备方法，可以作为日盲探测器使用，将氧化镓的光电导型模态与谐振型模态两种深紫外探测模式结合起来，能够有效弥补单一模式面临的缺点，可以提高探测器的动态范围和目标精度。也可以作为晶体管使用，采用氧化镓宽禁带半导体材料的电路与传统硅基电路相比，功率密度更高、功耗更低。本发明采用晶圆级悬空氧化镓晶体管制备工艺，进一步增加器件的多用途性，降低了成本。有着良好的应用前景，同时也符合未来器件集成化、小型化的发展方向。
基本信息
专利标题 ：
一种氧化镓悬空晶体管阵列的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114530522A
申请号 ：
CN202210023591.9
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谢涌胡文帅陆小力梁瑜刘晨阳白艳马晓华
申请人 ：
西安电子科技大学
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区太白南路2号
代理机构 ：
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王萌
优先权 ：
CN202210023591.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/101
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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