一种溅射后氧化铟锡靶材的再生方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种溅射后氧化铟锡靶材的再生方法，所述再生方法包括如下步骤：(1)对溅射后氧化铟锡靶材的溅射面依次进行抛光处理和槽加工，之后进行装粉，得到中间件；(2)对步骤(1)得到的中间件依次进行冷等静压、包套处理和热等静压处理，得到再生氧化铟锡靶材。本发明提供的再生方法，通过采用特定的处理过程，采用特定的机加工和等静压处理过程的设计，实现了使用后氧化铟锡的高效回收利用，制备所得氧化铟锡靶材具有良好的性能，致密性能高，晶粒小，电阻率低，采用制备所得靶材进行镀膜后镀膜的均匀性显著提升。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射后氧化铟锡靶材的再生方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114477992A
申请号 ：
CN202210053404.1
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姚力军潘杰周友平曹欢欢
申请人 ：
宁波江丰热等静压技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市安山路198号
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩承志
优先权 ：
CN202210053404.1
主分类号 ：
C04B35/453
IPC分类号 ：
C04B35/453 C04B35/622 C04B35/645 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
C04B35/453
以氧化锌、氧化锡或氧化铋或与其他氧化物的固溶体为基料的
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/453
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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