一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备，本发明的有益效果是，复杂的工艺条件和顺序下，沉积工艺可以在多腔体中按照工艺顺序进行传递，尤其是在会产生具有毒性、高污染的物质的工艺段中，一个相对独立的腔体尤其重要，可以采用特殊的材质和安全处理工艺，并针对性的完成腔体清洁和尾气的处理，同时避免了在同一腔体中的不同工艺段产生交叉污染的风险，既节省了沉积反应的时间，又增加了安全性，并且提高了腔体和设备的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481095A
申请号 ：
CN202210107706.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王萍
申请人 ：
德州智南针机械科技有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号(德州中元科技创新园股份有限公司2号车间北跨北-11)
代理机构 ：
天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
安娜
优先权 ：
CN202210107706.2
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/448 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/44
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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