一种机械手及半导体设备
公开
摘要
本发明提供一种机械手及半导体设备，包括机械手臂、托板及凸块，所述凸块位于所述托板上，具有高度差的所述凸块组合构成凸块组，所述凸块组至少包括2个，其中，所述凸块组交错排布，且位于外侧的所述凸块的高度大于位于内侧的所述凸块的高度，以提供承载晶圆的不同倾斜面。本发明在同一所述机械手上设置多套所述凸块组，以提供承载晶圆的不同倾斜面，从而在对晶圆进行传输时，可通过不同的所述凸块组分别对晶圆进行传输，以防止晶圆的交叉污染，而无需采用多个机械手臂完成工作，从而可降低设备成本，节省设备空间，以及降低设备复杂程度。
基本信息
专利标题 ：
一种机械手及半导体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114559453A
申请号 ：
CN202210187039.3
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄允文刘二壮刘枫刘涛蔡斌
申请人 ：
上海普达特半导体设备有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1387号33幢101室
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
卢炳琼
优先权 ：
CN202210187039.3
主分类号 ：
B25J15/00
IPC分类号 ：
B25J15/00 H01L21/677
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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