一种芯片管脚共面性和间距的测试装置及其测试方法
授权
摘要
本申请涉及芯片检测的领域,尤其是涉及一种芯片管脚共面性和间距的测试装置,包括检测平台、设置在检测平台上用于固定芯片位置的固定装置以及用于对芯片管脚共面性和间距进行检测的检测装置,检测平台上设置有带动检测装置水平移动的水平驱动件以及带动检测装置竖直移动的竖直驱动件,检测装置包括探针以及设置在探针上端的压电传感器,当探针在芯片管脚上移动时,探针与压电传感器抵接,压电传感器对探针在各个管脚上的竖直移动距离进行检测以得到各个管脚所在平面,压电传感器与处理模块连接,处理模块用于统计探针在相邻两管脚间的移动时间得出相邻两管脚的间距。本申请具有可以减少工作人员的劳动强度,提高检测效率,减少检测故障的效果。
基本信息
专利标题 :
一种芯片管脚共面性和间距的测试装置及其测试方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114252000A
申请号 :
CN202210190513.8
公开(公告)日 :
2022-03-29
申请日 :
2022-03-01
授权号 :
CN114252000B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
李鹏飞李涛牛姜枫赵杰
申请人 :
北京京瀚禹电子工程技术有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区沙河镇松兰堡村西海特光电院内办公楼1层102室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210190513.8
主分类号 :
G01B7/00
IPC分类号 :
G01B7/00 G01B7/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-27 :
授权
2022-04-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/00
申请日 : 20220301
申请日 : 20220301
2022-03-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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