一种适用性强的半导体测试设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及半导体检测技术领域,且公开了一种适用性强的半导体测试设备,包括镜体和基座,所述镜体的底端设置有基座,所述基座的顶端设置有检测托盘,检测托盘受到晶片重量的下压自动沉,检测托盘下压底端的活塞罐,使得活塞罐内部的清洗液通过喷水管喷洒在检测托盘的内部,直至检测托盘下沉到底端,使得引流管插入排水阀内部,同时检测托盘的另一侧下压底端的联动液压柱,使得联动推杆延展向前推动侧向护板贴靠在检测托盘,同时加压风机同步启动,使得半导体晶片表面残留清洗液在高速气流推动下快速脱落,使得半导体晶片表面无任何残留液体,同时将表面的尘埃同步冲刷干净,从而达到了自动清洁半导体表面。
基本信息
专利标题 :
一种适用性强的半导体测试设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545188A
申请号 :
CN202210199176.9
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
董福国张强
申请人 :
深圳市卓晶微智能机器人科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福永街道和平社区骏丰工业区综合楼B5-1栋B座401B
代理机构 :
北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司
代理人 :
李晓春
优先权 :
CN202210199176.9
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/26
申请日 : 20220302
申请日 : 20220302
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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