一种区熔单晶硅的制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种区熔单晶硅的制备方法,涉及半导体制造技术领域。该方法的一具体实施方式包括:控制线圈的功率,以使样芯被所述线圈加热,从而形成熔体;将籽晶上端垂直地浸入所述熔体中,使得所述籽晶被加热;当所述籽晶的颜色呈红色且熔融状态时,降低所述线圈的功率;控制上轴和下轴同时下拉,以形成细颈;其中,所述上轴的下拉速度为1‑1.5mm/min,所述下轴的下拉速度逐渐提升至10‑15mm/min,以使所述细颈的直径小于等于3mm、长度大于等于40‑60mm;对所述样芯进行放肩,以形成肩部和硅单晶棒;控制所述上轴上拉、所述下轴下拉,同时将所述线圈的功率降低至零,直至所述熔体与所述硅单晶棒分离,取出所述硅单晶棒。该实施方式能够解决难以实现无位错晶体的技术问题。

基本信息
专利标题 :
一种区熔单晶硅的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114540942A
申请号 :
CN202210222706.7
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
关文涛张遵刘强强常青王春静王祥祥
申请人 :
陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
申请人地址 :
陕西省榆林市佳县工业园
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
王安娜
优先权 :
CN202210222706.7
主分类号 :
C30B15/22
IPC分类号 :
C30B15/22  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
C30B15/22
被拉晶体附近熔融区的稳定化或形状控制;晶体截面的控制
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/22
申请日 : 20220307
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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