一种非掺杂导电碲化锌靶材及其制备方法
公开
摘要
本发明属于溅射靶材制备技术领域，公开了一种非掺杂导电碲化锌靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将碲化锌粉、碲粉和锌粉混合均匀，其中碲化锌粉重量占比为70％～90％，碲粉与锌粉摩尔比为1:1；将所得混合粉末放入管式炉中，惰性气氛下加热至300～350℃进行预烧结；将预烧结后的粉末装入模具中，然后放入真空热压炉内，升温至500～550℃进行真空热压处理，处理后的物料随炉降温后出炉，得到毛坯靶材，然后将毛坯靶材进行后加工处理，得到非掺杂导电碲化锌靶材成品。本发明制备方法无其它元素掺杂，在热压温度及压力相对较低的情况下即可实现良好的均匀性，所得碲化锌靶材相对密度高，且具有良好的导电性。
基本信息
专利标题 ：
一种非掺杂导电碲化锌靶材及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114560700A
申请号 ：
CN202210225977.8
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
文崇斌余芳朱刘童培云罗海奇曾成亮
申请人 ：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 ：
清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
龚元元
优先权 ：
CN202210225977.8
主分类号 ：
C04B35/515
IPC分类号 ：
C04B35/515 C04B35/622 C23C14/35 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/515
以非氧化物为基料的
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
