一种外延薄膜的制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种外延薄膜的制备方法，将微结构及物理性能的调控由平面转向垂直，制备垂直构型外延薄膜。其中，公开了以La0.7Ba0.3MnO（LBMO）为母体，以ZnO做为第二相，利用脉冲激光沉积在单晶基片上制备垂直构型外延薄膜。本发明给出一种新型结构的外延薄膜，并公开了该新型外延薄膜的制备方法，将微结构及物理性能的调控由平面转向垂直，为基础物理的研究和材料应用开辟了新的途径。
基本信息
专利标题 ：
一种外延薄膜的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114592237A
申请号 ：
CN202210236803.1
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李兵王峰张永兴刘亲壮
申请人 ：
淮北师范大学
申请人地址 ：
安徽省淮北市东山路100号
代理机构 ：
青岛中天汇智知识产权代理有限公司
代理人 ：
李浩
优先权 ：
CN202210236803.1
主分类号 ：
C30B23/02
IPC分类号 ：
C30B23/02 C30B29/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
C30B23/02
外延层生长
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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