用于校准套刻量测准确性的校准标记及测量方法、校准方法
公开
摘要
一种用于校准套刻量测准确性的校准标记及测量方法、校准方法，所述校准标记，包括：四个象限，每一个象限中具有一组校准标记，且所述四个象限中的四组校准标记的排列方向按照顺时针方向或逆时针方向相应的旋转90度或180度，且所述每一组校准标记均包括位于前层的若干平行的第一条状图形和位于当层的若干平行的第二条状图形，相邻的两个所述第一条状图形之间具有沟槽，且每一个所述第二条状图形相应的位于所述相邻的第一条状图形之间的沟槽的上方。本申请的校准标记，提高量测的准确性，并且简化了测量的过程，提高了测量的效率。
基本信息
专利标题 ：
用于校准套刻量测准确性的校准标记及测量方法、校准方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623787A
申请号 ：
CN202210240353.3
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘文奇
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高德志
优先权 ：
CN202210240353.3
主分类号 ：
G01B15/00
IPC分类号 ：
G01B15/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B15/00
以采用波或粒子辐射为特征的计量设备
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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