一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，包括四个角座与四个连接杆，四个角座通过四个连接杆以收尾相邻的形式进行连接形成底座主体，镀膜机放置在底座主体上，四个角座分别支撑镀膜机的四角，角座的下侧壁上设有用于减震以及调节底座主体平衡状态的支撑腿，本实用新型通过减震弹簧缓冲磁控溅射镀膜机运行时产生的晃动，能够有效避免磁控溅射镀膜机因震动而发生的移动问题，从而保证了设备运行的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220095772.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
CN216688305U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
王云锋
申请人 ：
兰州交通大学
申请人地址 ：
甘肃省兰州市安宁区安宁西路88号
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李自强
优先权 ：
CN202220095772.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 F16F15/067
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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