一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其为一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，包括壳体、靶材结构和基板，所述壳体的右端内侧固定连接有双出轴电机，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第一螺杆，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第二螺杆，所述第一螺杆的外侧螺旋连接有连接杆，本实用新型中，通过设置的双出轴电机、第一螺杆、第二螺杆和限位杆等构件，通过双出轴电机带动第一螺杆与第二螺杆转动，第一螺杆与第二螺杆的螺纹方向相反，因此固定杆与连接杆的移动方向相反，即可控制基板与靶材结构移动，即可便于控制基板与靶材结构之间的距离，使得基板与靶材结构之间的距离通过控制双出轴电机得到控制，提高了灵活性。
基本信息
专利标题 ：
一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021228908.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212581999U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
乔建栋黄坚常洪兴徐胜
申请人 ：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号
代理机构 ：
苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈超
优先权 ：
CN202021228908.5
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/50 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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