一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及镀膜机领域，尤其为一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，包括箱体，所述箱体右端转动连接有控制柜，所述箱体外侧左端固定连接有气密性检测仪，所述气密性检测仪顶端固定连接有检测管，所述检测管与箱体固定连接，所述箱体内侧右端固定连接有第一电机，所述箱体内侧上端固定连接有固定板，所述第一电机的主轴末端固定连接有螺纹轴，所述螺纹套筒底端固定连接有光学干涉测厚仪，本实用新型中可通过打开第一电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹套筒左右移动，通过PLC和工控机自动控制，可实现靶材镀膜厚度的自动检测，通过PLC和工控机可同时对气密性检测仪操控，实现数据自动化记录，使工作十分方便。
基本信息
专利标题 ：
一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021230798.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212582000U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
乔建栋黄坚常洪兴徐胜
申请人 ：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号
代理机构 ：
苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈超
优先权 ：
CN202021230798.6
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
