生长管状晶体的控制设备
专利权的终止(专利权有效期届满)
摘要

一种控制管状晶体生长设备的操作用的控制系统包括一测定晶体重量用的重量传感器、一测量晶体长度用的长度传感器、一测定晶体内部压力用的压力传感器和一耦合到该重量、长度、压力传感器以控制晶体生产设备操作的控制器,控制器耦合到设备的模具加热器上以根据重量、长度和压力传感器的输出控制盛在坩埚中的熔体的温度。为确保晶体壁厚大体均匀,必须精确测定晶体的重量。本发明对管状晶体内部压力波动所引起的重量测定误差进行了补偿。

基本信息
专利标题 :
生长管状晶体的控制设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1031404A
申请号 :
CN88102353.1
公开(公告)日 :
1989-03-01
申请日 :
1988-05-05
授权号 :
CN1020482C
授权日 :
1993-05-05
发明人 :
布赖恩·H·麦金托什
申请人 :
无比太阳能公司
申请人地址 :
美国马萨诸塞州
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
肖掬昌
优先权 :
CN88102353.1
主分类号 :
C30B15/28
IPC分类号 :
C30B15/28  C30B15/34  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
C30B15/22
被拉晶体附近熔融区的稳定化或形状控制;晶体截面的控制
C30B15/28
利用晶体或熔体重量变化的,例如浮称法
法律状态
2009-02-11 :
专利权的终止(专利权有效期届满)
2007-02-21 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
变更事项 : 专利权人
变更前 : RWE肖特太阳公司
变更后 : 肖特太阳公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州
2004-08-04 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
变更事项 : 专利权人
变更前 : ASE美国公司
变更后 : RWE肖特太阳公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州
2002-04-24 :
其他有关事项
1996-04-17 :
著录项目变更
变更事项 : 申请人
变更前 : 无比太阳能公司
变更后 : ASE美国公司
1993-05-05 :
授权
1990-08-29 :
实质审查请求
1989-03-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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