激光直接写入式集成电路制造系统

专利权的视为放弃

摘要

一种激光直接写入系统，在光束扩展器入口处使激光束扫描。光束扩展器减小由机械式扫描器件形成的扫描角和误差。其输出端较小的扫描角与激光直接写入式半定制集成电路制造系统能很好地配合。扫描误差的减小使得在该集成电路表面上聚焦的激光光点的位置精度更高。

基本信息

专利标题：

激光直接写入式集成电路制造系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1054835A

申请号：

CN91101641.4

公开（公告）日：

1991-09-25

申请日：

1991-03-14

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

梁美斌

申请人：

西蒙傅礼泽大学

申请人地址：

加拿大不列颠哥伦比亚省

代理机构：

中国专利代理有限公司

代理人：

程天正

优先权：

CN91101641.4

主分类号：

G02F1/01

IPC分类号：

G02F1/01 G03F1/00 H01L21/70 H01L21/30

IPC结构图谱

G部——物理

G02

光学

G02F

用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器

G02F1/00

控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学

G02F1/01

对强度、相位、偏振或颜色的控制

法律状态

1999-04-07 ：

专利权的视为放弃

1993-06-30 ：

实质审查请求的生效

1992-03-04 ：

著录项目变更

变更事项 : 申请人
变更前 : 西蒙博礼泽大学
变更后 : 英特科技系统有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 加拿大不列颠哥伦比亚省
变更后 : 加拿大不列颠哥伦比亚省

1991-09-25 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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