基板处理装置
专利权的终止
摘要
一种基板处理装置，在具有将基板从水平运送装置转装到基板旋转处理单元的机构的装置中，不用担心产生灰尘，即使进行湿法处理也不会发生不适状况，结构简单，占有空间也相对较小。其具有基板旋转处理单元(10)及辊式输送机(16)，包括：配置成与辊式输送机运送路径终端部相对向、使支撑基板(W)的自由辊(28)的基板支撑面与辊式输送机的基板运送面处于相同高度的运送板(20)；使基板从辊式输送机运送路径终端部向运送板上水平移动的转装臂部(32)；将支撑基板的运送板从基板交接位置(A)向基板旋转处理单元的旋转保持圆板(12)上移动的支撑及移动机构，旋转保持圆板具有运送板的装载面及保持基板的支撑销(44、46)。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1776884A
申请号 ：
CN200510108858.0
公开（公告）日 ：
2006-05-24
申请日 ：
2005-10-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
柴崎博
申请人 ：
大日本网目版制造株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
高龙鑫
优先权 ：
CN200510108858.0
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/677 B65G49/06
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2013-12-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101547532147
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2005101088580
申请日 : 20051009
授权公告日 : 20071128
终止日期 : 20121009
号牌文件序号 : 101547532147
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2005101088580
申请日 : 20051009
授权公告日 : 20071128
终止日期 : 20121009
2007-11-28 ：
授权
2006-07-19 ：
实质审查的生效
2006-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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