掩模图案布置方法

专利申请权、专利权的转移

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摘要

本发明提供一种掩模图案布置方法，此方法包括具有第一掩模图案的第一掩模，具有第二掩模图案的第二掩模，第一掩模图案和第一掩模的相对位置不同于第二掩模图案和第二掩模的相对位置。

基本信息

专利标题：

掩模图案布置方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1983033A

申请号：

CN200510131730.6

公开（公告）日：

2007-06-20

申请日：

2005-12-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

梁雅闵何建国

申请人：

中华映管股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台北市

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

优先权：

CN200510131730.6

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G03F7/00 H01L29/786 H01L21/027

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2017-01-18 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101745421933
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2005101317306
登记生效日 : 20161230
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浩智无形资产管理投资有限公司
变更后权利人 : 武汉华星光电技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 马绍尔群岛马久罗阿杰泰克岛阿杰泰克路信托公司综合区
变更后权利人 : 430000 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

2016-10-05 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101739687304
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2005101317306
登记生效日 : 20160909
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中华映管股份有限公司
变更后权利人 : 浩智无形资产管理投资有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国台湾台北市
变更后权利人 : 马绍尔群岛马久罗阿杰泰克岛阿杰泰克路信托公司综合区

2010-08-25 ：

授权

2007-08-15 ：

实质审查的生效

2007-06-20 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN1983033A.PDF

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