自动化蚀刻控制系统、装置与方法

专利权的终止

摘要

一种自动化蚀刻控制系统、装置及方法被揭露。此自动化蚀刻系统包括蚀刻装置、添加单元、分析单元、侦测单元及控制单元。蚀刻装置容纳蚀刻液与至少一基板以蚀刻基板。添加单元储存蚀刻液的至少一成分。分析单元分析蚀刻液以产生分析结果。侦测单元侦测基板的数量。控制单元电连接至分析单元以接收分析结果。控制单元包括处理模块、计时模块及面积模块。处理模块产生第一添加信号至添加单元。计时模块在经过预定期间时发出启动信号至分析单元以分析蚀刻液。面积模块电连接至侦测单元以接收基板信号，并产生第二添加信号至添加单元。添加单元选择性地依据第一添加信号及第二添加信号，而将相对应的成分添加至蚀刻装置。

基本信息

专利标题：

自动化蚀刻控制系统、装置与方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101004598A

申请号：

CN200610005079.2

公开（公告）日：

2007-07-25

申请日：

2006-01-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李瑛奇

申请人：

奇奕国际股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园县

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

优先权：

CN200610005079.2

主分类号：

G05B19/04

IPC分类号：

G05B19/04 G05B19/048