狭缝喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明提供一种能够由狭缝喷嘴以稳定的涂敷宽度涂敷处理液的技术。本发明的狭缝喷嘴的侧板(721)的下端部(721a)的厚度(d)为0.7mm以下。因此，即使在狭缝喷嘴(42)的移动速度慢的时候、或抗蚀液90的粘度低的时候，能够缩小被涂敷的抗蚀液90向外侧的膨胀宽度。因此，能够抑制抗蚀液90的涂敷宽度的变动。

基本信息

专利标题：

狭缝喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1833779A

申请号：

CN200610054724.X

公开（公告）日：

2006-09-20

申请日：

2006-03-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

池田文彦楫野一树细川章宏吉田顺一

申请人：

大日本网目版制造株式会社

申请人地址：

日本京都府

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

高龙鑫

优先权：

CN200610054724.X

主分类号：

B05B1/04

IPC分类号：

B05B1/04 B05C5/02

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B05

一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法

B05B

喷射装置；雾化装置；喷嘴

B05B1/00

带或不带辅助装置，例如阀、加热装置的喷嘴、喷头或其他出口

B05B1/02

适合于产生特殊形状或性质，如单独小滴的喷流，喷雾或其他排射

B05B1/04

平面形，如扇形，片形的

法律状态

2015-04-01 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101713139773
IPC(主分类) : B05B 1/04
专利号 : ZL200610054724X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 大日本网屏制造株式会社
变更后 : 斯克林集团公司
变更事项 : 地址
变更前 : 日本京都府
变更后 : 日本京都府

2015-04-01 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101713139772
IPC(主分类) : B05B 1/04
专利号 : ZL200610054724X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 大日本网目版制造株式会社
变更后 : 大日本网屏制造株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本京都府
变更后 : 日本京都府

2010-01-20 ：

授权

2006-11-22 ：

实质审查的生效

2006-11-08 ：

实质审查的生效

2006-09-20 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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