监控对衬底晶片的污染的方法和设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本发明涉及一种用于例如在FOUP(前开口式通用盒)或SMIF(标准机械接口)类型的传送密闭盒中直接测量污染的设备。将该传送密闭盒置于适配器上，该适配器在该传送密闭盒与外部气体分析器之间形成直接连通。该气体分析器对采样气体进行离子化，并通过测量由这种离子化得到的离子的参数来执行分析。这种方法可实时地测量非常低级别的气态污染。

基本信息

专利标题：

监控对衬底晶片的污染的方法和设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1834638A

申请号：

CN200610065541.8

公开（公告）日：

2006-09-20

申请日：

2006-03-20

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

阿诺·法夫尔雷米·托洛特格扎维埃·梅泰让·皮埃尔·德比奥勒

申请人：

阿尔卡特公司

申请人地址：

法国巴黎市

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

朱海波

优先权：

CN200610065541.8

主分类号：

G01N27/62

IPC分类号：

G01N27/62 G01N27/64 G01N1/22 H01L21/66

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N27/62

通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射

法律状态

2012-06-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101382326142
IPC(主分类) : G01N 27/62
专利号 : ZL2006100655418
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 阿尔卡特朗讯
变更后权利人 : 阿迪克森真空产品公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 法国巴黎市
变更后权利人 : 法国安纳西
登记生效日 : 20120511

2012-06-20 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101382326141
IPC(主分类) : G01N 27/62
专利号 : ZL2006100655418
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿尔卡特公司
变更后 : 阿尔卡特朗讯
变更事项 : 地址
变更前 : 法国巴黎市
变更后 : 法国巴黎市

2009-09-23 ：

授权

2006-11-22 ：

实质审查的生效

2006-11-08 ：

实质审查的生效

2006-09-20 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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