本实用新型涉及光刻技术领域，解决了现有的分步直写光刻技术效率低，单象素的连续性扫描光刻操作难度大的问题，将两者结合，提供一种综合式直写光刻装置。结构特点是：在透镜和投影镜头之间设有反射镜；两个以上不同倍率的投影镜头设于盘状转换器上，光学定位检测系统包括与转换器上的投影镜头共轴的光学波长分束器，光学波长分束器一侧同轴设有包括检测成像透镜、光敏感探测器的成像系统。该装置采用可变倍率的投影镜头，提高曝光的效率。采用共轴的光学定位检测系统，达到改变的倍率的投影镜头产生的图形能进行无间隙连接。该装置采用直写扫描和精缩排版的混合法，实现光滑的图形轮廓，并提高曝光的效率。