紫外LED光刻曝光装置
授权
摘要
本实用新型涉及光刻技术领域，且公开了紫外LED光刻曝光装置，包括安装板，安装板的下端通过若干个连接杆共同固定连接有连接板，连接板的下端开设有滑槽，连接板的侧壁上固定连接有驱动电机，驱动电机的输出端固定连接有转动杆，转动杆穿过连接板并向滑槽内延伸，且通过轴承与滑槽的槽壁上转动连接，位于滑槽内转动杆的杆壁上固定套接有往复丝杆，往复丝杆上啮合有往复滑套，往复滑套滑动连接在滑槽内，往复滑套的下端穿过滑槽的槽口并固定连接有长条形的LED光源，连接板的下端对称固定连接有定位杆，定位杆的下端安装有夹具，两个夹具共同夹持有掩模板。本实用新型使得曝光后光刻胶组成图案的厚度均匀，不会影响后续工艺。
基本信息
专利标题 ：
紫外LED光刻曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020277477.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-09
授权号 ：
CN211718691U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
龚旭周爱东
申请人 ：
江苏佰元鸿金属科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市东台市东台镇电子商务产业园龙光东路25号
代理机构 ：
南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈婧
优先权 ：
CN202020277477.5
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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