一种改进型化学机械研磨液容器
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种改进型化学机械研磨液容器,其包括:容器本体,设置于容器本体下部并且和容器本体相连的出液管道,设置于容器本体上部并且深入容器本体内部的入液管道,所述的入液管道为环形结构,所述环形结构入液管道上设置有若干朝向容器内壁的喷口,所述环形结构入液管道高于容器中液面,所述的环形结构入液管道和容器横截面平行。本实用新型的改进型化学机械研磨液容器,由于其入液管道结构的改进,防止了研磨液在容器内壁形成结晶颗粒,保证了研磨液各化学成分的合理比例,保证了产品质量。

基本信息
专利标题 :
一种改进型化学机械研磨液容器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720071947.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-29
授权号 :
CN201077028Y
授权日 :
2008-06-25
发明人 :
陈肖科
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
王洁
优先权 :
CN200720071947.7
主分类号 :
B24B57/02
IPC分类号 :
B24B57/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料,加料,分选或回收设备
B24B57/02
流体的,喷射的,雾化的或液化的磨削剂,抛光剂,或研磨剂的送进
法律状态
2017-07-25 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736767329
IPC(主分类) : B24B 57/02
专利号 : ZL2007200719477
申请日 : 20070629
授权公告日 : 20080625
终止日期 : 无
2013-04-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101562059479
IPC(主分类) : B24B 57/02
专利号 : ZL2007200719477
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130318
2008-06-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332