一种多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括三路径向反应气体进气管道、喷淋口、喷淋冷却腔、载片盘、反应腔、反应腔冷却腔、加热器、整流罩。其特征为：多路反应气体进气管道从反应腔顶端接入，反应腔上部设有喷淋口与喷淋冷却腔，下方设有载片盘，水平方向的气体层流和竖直方向的喷淋气体相结合形成气流流场，载片盘下部设有加热器与排气口。本实用新型的优点是反应腔具有水平方向的层流和竖直方向的喷淋相结合的气流流场，既能使反应气体混合均匀又能减少喷淋气体反弹回流造成局部湍流，同时又有效的抑制了反应室内的热涡流，提高材料外延生长的均匀性，解决了腔体内附着颗粒的清洗问题。