一种声表芯片的封装方法和声表器件
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摘要

本发明公开了一种声表芯片的封装方法和声表器件。该声表芯片的封装方法包括:提供第一基板和第二基板;第二基板包括第三区域和至少一个第四区域,第三区域中设置有声表芯片,第四区域中设置有至少一个内联导电端子,且声表芯片与内联导电端子电连接;利用胶膜将第一基板的第一区域和第二基板的第三区域粘合,以使第一基板的第二区域、第二基板的第四区域以及胶膜共同围成中空腔室,声表芯片位于中空腔室内;去除部分位于第一区域处的第一基板与胶膜,以露出内联导电端子;形成导电层,导电层与内联导电端子电连接;形成绝缘层;在导电层未被绝缘层覆盖的位置处,形成外联导电结构。该技术方案可降低声表芯片的封装成本,减小声表器件的尺寸。

基本信息
专利标题 :
一种声表芯片的封装方法和声表器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109150134A
申请号 :
CN201810973113.8
公开(公告)日 :
2019-01-04
申请日 :
2018-08-24
授权号 :
CN109150134B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
包锋
申请人 :
苏州伟锋智芯微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯正路11号星湖都市生活广场1幢915室
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN201810973113.8
主分类号 :
H03H9/05
IPC分类号 :
H03H9/05  H03H9/10  
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-12-31 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H03H 9/05
登记生效日 : 20211217
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 苏州伟锋智芯微电子有限公司
变更后权利人 : 象朵创芯微电子(苏州)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 江苏省苏州市工业园区唯正路11号星湖都市生活广场1幢915室
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市苏州工业园区科营路2号中新生态大厦9层907室
2019-01-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/05
申请日 : 20180824
2019-01-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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