基于注意力机制强化学习的半导体晶片测试路径规划方法
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摘要
本发明公开了一种基于注意力机制强化学习的半导体晶片测试路径规划方法，用于解决现有半导体晶片测试路径规划方法通用性差的技术问题。技术方案是采用软性注意力机制(Soft Attention Mechanism)的深度强化学习模型架构来训练代理人。特别采用长短期记忆架构，使状态具有记忆能力，并运用课程学习方式逐步扩大晶圆尺寸，利用迁移学习训练不同探针卡样式。本发明有效地克服了晶片扩大时模型难以训练的问题，适用于多种晶片尺寸下的应用。通过训练代理人的方式，代理人能以最少移动步数将晶片上所有晶粒测试完毕，有效减少了探针移动次数与移动距离，通用性好。
基本信息
专利标题 ：
基于注意力机制强化学习的半导体晶片测试路径规划方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110824917A
申请号 ：
CN201911036531.5
公开（公告）日 ：
2020-02-21
申请日 ：
2019-10-29
授权号 ：
CN110824917B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
史豪斌吴海波高彪朱金辉
申请人 ：
西北工业大学
申请人地址 ：
陕西省西安市友谊西路127号
代理机构 ：
西北工业大学专利中心
代理人 ：
王鲜凯
优先权 ：
CN201911036531.5
主分类号 ：
G05B13/04
IPC分类号 ：
G05B13/04 G05B13/02 G01R31/26 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B13/00
自适应控制系统，即系统按照一些预定的准则自动调整自己使之具有最佳性能的系统
G05B13/02
电的
G05B13/04
包括使用模型或模拟器的
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2020-03-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05B 13/04
申请日 : 20191029
申请日 : 20191029
2020-02-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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