一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统
授权
摘要
本实用新型提供一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座、夹板、送料杆、反应室以及丝杠，所述夹板通过螺栓安装在夹持座上端面，所述夹板与夹持座之间安装两组送料杆，所述送料杆左端延伸至反应室内，所述丝杠左端安装支板一，且丝杠右端安装支板二，所述支板二左端面后侧安装进料限位传感器，且支板二左端面前侧安装原点限位传感器，所述支板一右端面前侧开设通孔，所述通孔内安插螺纹杆，所述螺纹杆右端固定载板，所述载板右端面安装退料限位传感器，所述螺纹杆上啮合螺母一和螺母二，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：提高传动位置的精准度，无须人工调节寻找原点，同时扩大丝杠的长度选型范围。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920714992.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-19
授权号 ：
CN209658149U
授权日 ：
2019-11-19
发明人 ：
刘洋
申请人 ：
青岛华旗科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920714992.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2019-11-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
