一种晶圆探针台
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摘要
本实用新型涉及探针台,公开了一种晶圆探针台,其技术方案要点是包括探针台本体,探针台本体的上方开有放置槽,放置槽的下方开有检测通道,检测通道与放置槽相通,放置槽内固定连接有传导圆环,传导圆环的下方设有探针卡,探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间,传导圆环上穿设有传导顶针,探针台本体的上方设有盖板,盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱,导向柱固定连接在探针台本体上,盖板连接有过流板,当盖板贴合在探针台本体上时,过流板与传导顶针之间电性连接。本实用新型在检测过程中,探针台本体的上方设有盖板,盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量,以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度,提高了晶圆最终的测试精度。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆探针台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920882136.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-12
授权号 :
CN210181161U
授权日 :
2020-03-24
发明人 :
孙军
申请人 :
无锡新微阳科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920882136.8
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26 G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2020-03-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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